熱分解工藝一般分為直燃(TO)、蓄熱燃燒(RTO)、催化燃燒(CO)、蓄熱催化燃燒(RCO)4種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩不同組合，主要可以用于處理吸附濃縮氣體，也可以用于直接處理廢氣濃度＞3.5g/m3的中高濃度廢氣。

TO是將高濃廢氣送入燃燒室直接燃燒(燃燒室內(nèi)一般有一股長(zhǎng)明火)，廢氣中有機(jī)物在750℃以上燃燒生成CO2和水，高溫燃燒氣通過換熱器與新進(jìn)廢氣間接換熱后排掉，換熱效率一般≤60%導(dǎo)致運(yùn)行成本很高，只在少數(shù)能有效利用排放余熱或有副產(chǎn)燃?xì)獾钠髽I(yè)中應(yīng)用。

RTO的燃燒方式與TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒氣與新進(jìn)廢氣交替進(jìn)入蓄熱陶瓷直接換熱，熱量利用率可提高到95%以上，理念先進(jìn)，運(yùn)行成本較低，是目前國(guó)家主推的廢氣治理工藝。

CO是采用貴重金屬催化劑降低廢氣中有機(jī)物與O2的反應(yīng)活化能，使得有機(jī)物可以在250～350℃較低的溫度就能充分氧化生成CO2和H2O，屬無焰燃燒，高溫氧化氣通過換熱器與新進(jìn)廢氣間接換熱后排掉，熱量利用率一般≤75%，常用于處理吸附劑再生脫附出來的高濃廢氣。

RCO燃燒方式與CO相同，換熱方式與RTO相同，由于投資堪比RTO，能處理的廢氣種類受催化劑影響又比RTO少，所以很少企業(yè)單獨(dú)采用RCO工藝。

熱分解以RTO和CO的應(yīng)用例子較多，如果用于處理吸附脫附的濃縮氣，兩者差別不大，但若直接處理中高濃度廢氣時(shí)有很大區(qū)別，需要企業(yè)認(rèn)真對(duì)待。RTO和CO都非常適用于處理如涂布、印刷、制革、化纖、注塑等有機(jī)物濃度、種類、流量平穩(wěn)的流水線廢氣，尤其是帶溫度的烘干廢氣若采用吸附法還需要前置降溫到＜45℃，但如果使用RTO或CO，就可以充分利用其自身余熱，大大降低廢氣處理成本和整條流水線的總能耗。兩種工藝都可以用于處理烷烴、芳香烴、酮、醇、酯、醚、部分含氮化合物等有機(jī)廢氣。含硫磷類廢氣會(huì)使催化劑中毒，不適合用CO處理，而如果忽略含硫磷廢氣燃燒時(shí)對(duì)設(shè)備儀表的少量腐蝕，可以限制性的使用RTO處理。由于處理溫度均＜1150℃，兩種工藝都不能用于處理含鹵代烴廢氣以避免產(chǎn)生二噁英。部分類似硅烷類的廢氣因?yàn)槿紵笊傻墓腆w塵灰會(huì)堵塞催化劑或蓄熱陶瓷或切換閥密封面，所以RTO和CO都不能使用。含漆霧粉塵類廢氣要預(yù)過濾以避免切換閥關(guān)不緊、蓄熱體阻塞等現(xiàn)象，RTO的預(yù)處理要過濾到至少F6級(jí)；而CO處理廢氣主流通道上無切換閥，加上可以采用讓廢氣流速較高粉塵不易結(jié)存、定期給整個(gè)系統(tǒng)升溫回火將粉塵剝離分解等方法，因此CO的預(yù)處理只需簡(jiǎn)單過濾到G4級(jí)。此外，因?yàn)楹鬃跃塾袡C(jī)物(如丁二烯、丙烯酸酯等)廢氣會(huì)影響到切換閥的有效開閉，同時(shí)也可能在位于廢氣進(jìn)口處的蓄熱體上低溫沉積，使用RTO處理該類廢氣時(shí)會(huì)有安全隱患，而CO則不受影響。